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サクラクレパス独自の色彩技術を応用 PLAZMARK「ウエハ型」発売

2016年12月14日

酸素プラズマ処理時のインジケータの変色

変色色差のマッピングデータ

 サクラクレパス(西村彦四郎社長)は、プラズマインジケータ PLAZMARK「ウエハ型」(セラミックタイプ)を発売すると発表した。

 プラズマインジケータ PLAZMARKは、プラズマの処理効果を可視化する評価ツールとして、2014年の発売以来、顧客の用途に応じて商品ラインナップを拡充してきた。

 この度、要望の多かったウエハプロセス向け商品の第1弾として、PLAZMARK“ウエハ型”セラミックタイプを発売する。ウエハ型インジケータは、電子デバイスのエッチングやアッシングなど、ウエハプロセスの面内分布等の評価に使用することができる。

 PLAZMARKの特長の一つが、面内分布を簡単に評価できること。これまで面内分布評価用に「シート型」をラインナップしていたが、基材がフィルムでまた形状も長方形であったため、ウエハプロセス用としては不向きだった。

 この度、ユーザーが使用のウエハサイズと同一形状のインジケータを商品化することにより、普段と同じハンドリングで簡単に、プラズマ処理効果の面内分布を評価することができる。

 さらに、PLAZMARKウエハ型は、新たに開発した無機色材をシリコン基板またはサファイア基板の表面に形成。セラミック膜を形成させるため、従来商品にない高い耐熱性(400℃)を実現した。

 同商品の開発は、国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の助成事業により推進。 2017年1月にサンプルの出荷を開始し、4月から量産開始する。

 12月14日から東京ビッグサイトで開幕した、半導体製造装置・材料の国際展示会「セミコンジャパン2016」に出展し、セミナーを実施する。

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